半导体材料研究所
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- 2002-03-30
- 正文快照：
- 半导体材料研究所前身是1954年建立的半导体材料研究小组，是我国开展半导体材料研究最早的单位之一。根据学科发展的需要，1999年进行了调整组合。经过调整后的半导体材料研究所以新的面貌出现，组成了以阙端麟教授（中科院院士）为学科带头人，长江计划特聘教授、国家跨世纪优秀人才等一批优秀青年教师为学术骨干的教学科研队伍。该所1959年开始，以硅材料作为主攻方向，历经20余年的发展，形成了从硅烷气体-硅薄膜生长-多晶硅-单晶硅-测试分析以至器件单元工艺等配套的硅材料研究条件，在高纯硅烷的制取、高纯硅技术、探测器级硅单晶、硅单晶中碳、氧的控制以及硅单晶的电学测量等方面取得了重大成果，曾获得三项国家发明奖，十多项省部级和国家发明专利。
- 期次：
- 第91期
- 版次：
- 3
- 来源：
- 浙江大学报
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