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浙大一浙江省重大科技专项通过专家验收,项目产品通过新产品省级鉴定

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出版日期:
2009-03-27
正文快照:
本报讯,3月6日,由浙江大学承担的浙江省重大科技专项“全自动大规模集成电路单晶硅生长炉关键技术的研究与开发”项目,通过了由浙江省科技厅组织的专家组的验收。此前,该项目产品于2008年10月18日通过了新产品省级鉴定,专家们认为,该项目研制的全自动晶体生长炉达到了国内领先水平,其中晶体直径控制技术达到国际同类产品的先进水平。项目在深入研究硅单晶生长工艺的基础上,对拉晶全过程实行全自动控制,使硅单晶产品的成品率达到国际先进水平;开发的基于非完整图像识别的高温晶棒直径测量和CCD图像获取熔态硅液面位置等两项创新性关键技术,使1m长的单晶棒等径误差小于±1mm,达到国际同类产品的先进水平。
期次:
第317期
版次:
1
来源:
浙江大学报

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