浙大科技人员艰苦创业、独创硅单晶生产新技术、我国规模最大的硅片生产基地在宁波投产
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- 单泠
- 出版日期：
- 2000-11-10
- 正文快照：
- 本报讯日前，我国目前生产规模最大的6—8英寸集成电路抛光硅片生产基地在宁波市保税区建成并开工生产。由浙大海纳半导体计划总投资2.5亿元建设的拥有硅片生产工艺整套自主知识产权、生产工艺最完整、水平最高的生产基地落户在投资环境优良的宁波保税区，经过一年时间的努力建设完.成的第一期工程，年生产能力可达200万片。浙大海纳半导体是浙江大学硅材料国家重点实验室的产业基地，80年代初以20万元课题结余经费起家，将中国科学院院士阙端麟、李立本教授的研究成果应用于生产，独创采用减压充氮微氮直拉单晶成套工艺技术，生产出低成本高质量的直拉硅单晶，大大提高了国有企业的国际市场竞争能力，从而迫使国外大公司的产品退出了中国市场；1988年，浙大海纳半导体的产品首次进入国际市场，取得了中国直拉硅单晶出口零的突破。
- 期次：
- 第56期
- 版次：
- 1
- 来源：
- 浙江大学报
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